製品特徴
・半導体のマイクロマシニングにおけるダイシング/ドリル/ウエハーマーキング
・家電食品、医薬品、航空関係部品の錆びない印字、金属または非金属メッキ除去、様々な材料のスクライビング
・ブラインドグルーブ処理、極薄金属箔マイクロホール加工
・PV製造におけるスクライビングと切断
製品仕様
| 型番 |
PLSHG-7B |
PLSHG-20 |
PLSHG-40 |
| 波長 |
532nm |
532nm |
532nm |
| 出力 |
7W |
20W |
40W |
| パルスエネルギー |
0.2mJ＠40kHz |
>400μJ@50kHz |
>580μJ@50kHz |
| 繰り返し周波数 |
20kHz～150kHz |
20kHz～200kHz |
50kHz～200kHz |
| パルス幅 |
20ns |
<20ns |
<20ns |
| M2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
| ビーム広がり |
<2mrad,2θ |
≦2mrad |
≦2mrad |
| ビーム真円度 |
≧90% |
≧90% |
≧90% |
| ビーム径 |
≦1mm |
≦2mm |
≦2mm |
| 立上り時間 |
≦15min（warm start） |
≦15min |
≦15min |
| 動作温度 |
10～30℃ |
10～30℃ |
10～30℃ |
| 外部インターフェース |
RS-232,DB15 |
RS-232,DB15 |
RS-232,DB15 |
| 同期出力信号 |
BNC connector |
BNC connector |
BNC connector |
| 消費電力 |
600W |
800W |
800W |
| 電圧 |
100～220VAC |
100～220VAC |
100～220VAC |
| 寸法 |
485*135*120mm |
529*277*125mm |
529*277*125mm |
| 重量 |
10kg |
12kg |
12kg |
応用分野
ガラスの内面マーキング
銅線、コイルの被膜剥離
基盤切断
FPC切断
PCBにおいての応用
カッティング
カッティングの断面比較
上(グリーンレーザ)：炭化少ない、下：炭化多い
QRコードマーキング
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